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| ※ 製品納期はご注文後約4週間です。 |



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製品名 |
ストローク |
本体サイズ |
分解能 |
本体材質 |
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NS6141 |
30μm |
90×80×35mm |
3nm |
鋼 |
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NS6281 |
60μm |
150×150×40mm |
5nm |
鋼 |

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製品名 |
ストローク |
本体サイズ |
分解能 |
本体材質 |
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SA501 |
200μm |
120×80×55mm |
30〜50nm |
鋼 |


超精密加工への応用に設計されたピエゾステージです。加工時の安定性を確保する高い本体剛性に高発生力圧電アクチュエータを搭載し、密閉構造により加工液やミスト対策を施した構造です。ダイヤモンドバイトやワーク(加工物)の位置決めが行えナノメートルの超精密加工を実現できます。
また、スピンドルの回転中心に刃先を高精度に位置合わせできる“バイト芯高調整ステージ”もラインナップしています。 |
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