超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

製品応用例

レーザー/オプティクス 関連機器、光学調整

ピエゾステージ 精密モータステージ

干渉計のミラー微調整

干渉計のミラー微調整

透過光学素子のアライメント

透過光学素子のアライメント

光ファイバの光軸調整

光ファイバの光軸調整

レーザ加工用ミラー走査

レーザ加工用ミラー走査

露光装置の基板アライメント

露光装置の基板アライメント

光学ミラー高精度角度調整

光学ミラー高精度角度調整

精密スキャニング・マッピング測定

ピエゾステージ 精密モータステージ

CCD画素ずらし(ピクセルシフト)

CCD画素ずらし(ピクセルシフト)

顕微鏡、分析機器の試料テーブル

顕微鏡、分析機器の試料テーブル

プローブ顕微鏡、 AFM/SPM

マッピング測定

半導体、液晶関連装置

ナノメータスキャニング 

対物レンズのフォーカス用途

対物レンズフォーカス用

顕微鏡高速フォーカス

顕微鏡高速フォーカス

画像処理応用

画像処理応用

干渉計形状測定

半導体、FPD検査装置

レーザ加工

共焦点顕微鏡

超精密ナノ加工・高速切削加工

超精密加工機用

ダイヤモンドバイト精密送り

ダイヤモンドバイト精密送り

左:ダイヤモンドバイト 精密送り(平削)
右:ダイヤモンドバイト 精密送り(旋削)

FTS

精密金型加工

加工物の精密位置決め

各種の精密位置決めを必要とする用途

ピエゾステージ 精密モータステージ

HDDテスタ

HDDテスタ 

微小試験片の引っ張り、圧縮

微小試験片の引っ張り、圧縮

高精度平行面合わせ

高精度平行面合わせ

摩擦摩耗試験

摩擦摩耗試験

μN(mg) レベルの微小な力の検知・測定

フォースセンサ(微小力タイプ)

微小押圧荷重の測定

微小押圧荷重の測定 

光ファイバと機能デバイスの接触検知

光ファイバと機能デバイスの接触検知

スプリングプローブのバネ圧テスト測定

スプリングプローブのバネ圧テスト測定

半導体デバイスへのプロービング接触検知

半導体デバイスへのプロービング接触検知

マイクロアクチュエータの推力測定

引っ張り、破断力測定

細胞への針先穿刺力

微小摩擦力、推力モニタ

高い剛性を維持しながら高感度な力の測定

フォースセンサ(高剛性タイプ)

加工物とダイヤモンドバイトの接触荷重測定

加工物とダイヤモンドバイトの接触荷重測定

正面旋削切削抵抗の測定

正面旋削切削抵抗の測定

精密加工時の切削、研削力測定

バイト刃先と加工物の接触検知

押圧、硬さ管理

摩擦力の測定

推力、反力モニタ

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

お問い合わせ