超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

標準直動ステージ

ピエゾステージ

標準直動ステージ

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ

2つの機構で性能分類

高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。

直接駆動機構

  • 圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
  • ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
  • 剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。

変位拡大機構

  • 圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
  • 拡大率により、直接駆動の数倍~十数倍のストロークが得られます。
  • 内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。
  • 半導体、FPD検査装置
  • HDDテスタ
  • レーザ光学系アライメント
  • 干渉系機器
  • 分析機器
  • ナノメータポジショニング
PS1H / PS1L
直動X軸ステージ

PS1H 直接駆動機構

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PS1H25-006U 6 1 ±1 130005 25×30×16
PS1H35-006U 6 1 ±1 970010 35×35×16
PS1H45-012U 12 1 ±1 620010 45×45×16
PS1H60F-012U 12 1 ±1 410050 60×60×20
PS1H40F-020U 20 1 ±1 410030 48×60×13.5
PS1H60-020U 20 1 ±1 330010 60×60×16
PS1H80-030U 30 1 ±1 190010 80×80×16
PS1H80F-030U 30 1 ±1 190050 80×80×20

PS1L 変位拡大機構

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PS1L45-030U 30 1 ±1 150010 45×50×20
PS1L40-050U 50 2 ±2 9705 40×45×15
PS1L60-060U 60 2 ±2 130010 60×70×20
PS1L40-100U 100 2 ±2 5105 40×45×15
PS1L65-250U 250 10 ±10 3605 65×65×15
PS1L66-500U 500 20 ±20 2005 66×66×17
PS1L80-700U 700 30 ±30 1065 80×80×20
PS2H / PS2L
標準直動XY軸ステージ

PS2H 直接駆動機構

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PS2H60-012U (X,Y)12(X,Y)1 (X,Y)±1 200010 60×80×25
PS2H95-012U (X,Y)12 (X,Y)1 (X,Y)±1 380010
95×95×25
PS2H60-030U (X,Y)30 (X,Y)1 (X,Y)±1 160010
60×80×25
PS2H110-030U (X,Y)30 (X,Y)1 (X,Y)±1 340010
110×110×25

PS2L 変位拡大機構

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PS2L50-050U (X,Y)50 (X,Y)2
(X,Y)±2 4205 50×50×25
PS2L92-050U (X,Y)50 (X,Y)2
(X,Y)±2 130010 92×92×25
PS2L100-080U (X,Y)80 (X,Y)2
(X,Y)±2 48010 100×100×30
PS2L50-100U (X,Y)100 (X,Y)2
(X,Y)±2 280 5 50×50×25
PS2L60-250U (X,Y)250 (X,Y)10
(X,Y)±10 120 5 60×60×26
PSVH / PSVL
標準直動Z軸ステージ

PSVH 直接駆動機構

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PSVH35-006U 6 1 ±1 350010 35×35×26
PSVH45-012U 12 1 ±1 260010 45×45×36
PSVH60F-012U 12 1 ±1 160050 60×60×40
PSVH80F-030U 30 1 ±1 120050 80×80×60

PSVL 変位拡大機構

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PSVL45-060U 602 ±2 5705 45×45×32
PSVL45F-100U 100 2 ±2 30010 45×45×32
PSVL60-100U 100 2 ±2 3805 60×60×32
PSVL60F-100U 100 2 ±2 27010 60×60×38
PSVL60F-150U 150 5 ±5 19010 60×60×32
PSVL80F-300U 300 10 ±10 18010 80×80×38
PS3H / PS3L
標準直動XYZ軸ステージ

PS3H 直接駆動機構

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PS3H70-020UA (X,Y)20,(Z)12 (X,Y,Z)1 (X,Y,Z)±1 970 10 80×70×65
PS3H120-030U (X,Y,Z)30
(X,Y,Z)1 (X,Y,Z)±1 740 10 120×120×30

PS3L 変位拡大機構

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PS3L100-080UA (X,Y)80,(Z)20 (X,Y)2,(Z)1 (X,Y)±2,(Z)±1 400 10 100×100×30
PS3L68-100U (X,Y,Z)100 (X,Y,Z)2 (X,Y,Z)±2 250 5 68×68×40

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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