超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

光学ミラーアライメント用

ピエゾステージ

光学ミラーアライメント用

光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。“高速振動”や“高い位置再現性”に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメントなどに最適です。

大径ミラーにもカスタム対応

駆動源のピエゾ素子は高い発生力(数百Nクラス)を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。

角度制御も容易

角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ/ドライバを介して簡単に行えます。

  • 光軸調整
  • キャビティ調整
  • レーザ光走査
  • レーザ加工
  • チルト調整
  • 光バイオ
1軸チルト(θx)

型番 最大振れ角 分解能 共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PT1M36-500S 500"[秒]≒0.14°≒2.4mrad 0.05"[秒]≒0.24μrad 8000 0.3 36×42×29
2軸チルト(θxθy)

型番 最大振れ角 分解能 共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PT2M60-240S (θx/θy)240"[秒]≒0.07°≒1.2mrad (θx/θy)0.05"[秒]≒0.24μrad 760 0.5 60×60×53
PT2M120-500S (θx/θy)500"[秒]≒0.14°≒2.4mrad (θx/θy)0.05"[秒]≒0.24μrad 180 5 120×120×43
PT2M40-800S (θx/θy)800"[秒]≒0.22°≒3.9mrad (θx/θy)0.05"[秒]≒0.24μrad 330 1 60×40×45

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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