超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

対物レンズフォーカス用

ピエゾステージ

対物レンズフォーカス用

対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージです。 顕微鏡や各種の検査・測定装置、観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が可能になります。

各メーカの対物レンズが取り付け可能

  • 各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。
  • 別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。
  • 規格外のレンズの取り付けもご相談ください。

選べる4つのタイプ

【横型タイプ】
  • 本体の厚みを抑えた構造です。
  • ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。
【縦型タイプ】
  • 剛性が高く応答性を重視したタイプです。
  • 重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。
【箱型タイプ】
  • 対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。
  • 4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。
【鏡筒用】
  • 顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。
  • 高速フォーカス
  • 画像処理機器
  • 共焦点顕微鏡
  • レーザ加工
  • 半導体、FPD装置
  • 干渉計形状測定
PFH
横型タイプ

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
PFHC***-015U 15 1 ±1 950
PFHW***-015U 15 1 ±1 680
PFHC***-100U 100 2 ±2 520
PFHW***-100U 100 2 ±2 430
PFHW***-200U 200 5 ±5 370
PFHW***-300U 300 10 ±10 300
PFHW***-400U 400 20 ±20 240
PFV
縦型タイプ

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
PFVC***-100U 100 2 ±2 1000
PFVW***-100U 100 2 ±2 750
PFVW***-200U 200 5 ±5 490
PFB
箱型タイプ

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
PFB*-030U 30 1 ±1 3100
PFB*-100U 100 2 ±2 490
PFB*-300U 300 10 ±10 210
PFR
鏡筒用

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
PFR150-080U 80 2 ±2 590

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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