超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

耐湿/特殊環境用

ピエゾステージ

耐湿/特殊環境用

『金属密閉タイプ圧電アクチュエータ』を採用し、高温, 高湿環境下での 耐久性を高めた特殊環境対応型のピエゾステージです。

金属ケース封入タイプは、圧電素子を外気から遮断した構造とすることで雰囲気の影響を受けにくくしています。
樹脂外装タイプの圧電素子と比較して周囲温度や湿度に対する耐久性に優れる他、長時間の定電圧印加でも劣化(寿 命)が起こりにくく、次のような機器や環境あるいは使用方法に適しています。

  • バイオなど液体を取り扱う機器や顕微鏡
  • 加工機でオイルやミストがかかる環境
  • 一定位置で長時間静止(待機)する使い方 ※動作させている時間の方が短い
  • 故障時に交換(取り外し)が困難な場所での使用
  • 高い信頼性が求められる用途
  • 高真空、超高真空
X軸ステージ
型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PSM1H70-040U 40 1 ±1 2700 10 70×85×25
PSM1H70F-040U 40 1 ±1 1780 30 70×85×25
PSM1L70-100U 100 2 ±2 930 10 70×85×25
XY軸ステージ
型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PKM2L130-040U (X,Y)40 (X,Y)1 (X,Y)±1 1440 10 130×130×30
PKM2L160-200U (X,Y)200 (X,Y)5 (X,Y)±5 330 10 160×160×30

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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