超精密位置決め装置の専門メーカー
フォースセンサ

微小力タイプ

フォースセンサ

微小力タイプ

  • μN(mgf)レベルの微小な力を高感度で検知、測定できます。
  • 軽量、コンパクトなので取り扱いしやすく、研究開発や装置組み込みにも最適です。
  • 形状や感度変更などのカスタマイズにも対応します。

微小な外力(反力)の計測や判別を必要とする様々な用途にご利用いただけます。

  • プロービングの接触検知
  • 針先の穿刺力
  • 脆性デバイスの微小接触検知
  • 粘弾性試験
  • 試験片の引っ張り、圧縮、屈曲力測定
  • 微小推力のモニタ
  • 摩擦力の測定
測定レンジ:0.1N
タイプ 押圧用 引っ張り用 押圧/引っ張り 両用
型番 FS1M-0.1NP FS1M-0.1NT FS1M-0.1NB
測定レンジ 0 ~ 100mN (≒10gf) ±50mN (≒±5gf)
分解能(感度) 20μN (≒0.002gf)
リニアリティ ±1%
剛性 343μm/N
本体質量 100g
サイズ 40×52×20

測定レンジ:1N
タイプ 押圧用 引っ張り用 押圧/引っ張り 両用
型番 FS1M-1NP FS1M-1NT FS1M-1NB
測定レンジ 0 ~ 1N(≒100gf) ±0.5N(≒±50gf)
分解能(感度) 0.1mN(≒0.01gf)
リニアリティ ±1%
剛性 50μm/N
本体質量 40g
サイズ 34×25×16

測定レンジ:5N
タイプ 押圧用 引っ張り用 押圧/引っ張り 両用
型番 FS1M-5NP FS1M-5NT FS1M-5NB
測定レンジ 0 ~ 5N(≒500gf) ±2.5N(≒±250gf)
分解能(感度) 0.5mN(≒0.05gf)
リニアリティ ±1%
剛性 9.9μm/N
本体質量 40g
サイズ 34×25×16

アーム型
測定レンジ:0.1N
型番 FSCU1-0.1N-S
測定レンジ 0 ~ 100mN
分解能(感度) 50μN(≒0.05gf)
リニアリティ ±1%
剛性 96.9μm/N
本体質量 10g
サイズ 15×14×64

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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