超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

ピエゾステージ

ピエゾステージ

標準直動ステージ

標準直動ステージ

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ

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開口付きステージ

開口付きステージ

移動テーブル中央に開口(透過穴)を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡・分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。

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回転・チルトステージ

回転・チルトステージ

ピエゾ駆動による回転や角度調整が行えます。 角度変位量はわずかながら、高速振動や角度分解能に優れ、光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに最適です。

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光学ミラーアライメント用

光学ミラーアライメント用

光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。 “高速振動”や“高い位置再現性”に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメントなどに最適です。

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対物レンズフォーカス用

対物レンズフォーカス用

対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージです。 顕微鏡や各種の検査・測定装置、観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が可能になります。

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超精密加工機用

超精密加工機用

精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク(加工対象物)を高速・高精度に位置制御できます。

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歪みゲージ式汎用タイプ

歪みゲージ式汎用タイプ

内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置決めが行え、優れた高速応答性を備えています。

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簡易型アクチュエータ

簡易型アクチュエータ

圧電素子をアクチュエータとして利用しやすい様に、コンパクトなガイド機構に組み込んだ製品です。タップ穴付きなので固定や取り外しが簡単に行え、弾性ヒンジガイドにより真直性の高い動きが得られます。 変位センサは内蔵しておりません。

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インパクトアクチュエータ

インパクトアクチュエータ

圧電アクチュエータを急峻に伸長させ、 ワーク(移動対象物)に打撃力を与えて移動させる電子ハンマーです。 仮組みした部品の微細位置調整や、回転芯出しなどに応用できます。

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耐湿/特殊環境用

耐湿/特殊環境用

『金属密閉タイプ圧電アクチュエータ』を採用し、高温, 高湿環境下での 耐久性を高めた特殊環境対応型のピエゾステージです。

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制御コントローラ

制御コントローラ

ピエゾステージを駆動制御するためのコントローラです。 制御回路・ドライバ・変位センサアンプを一体型とし、 ピエゾステージと直接接続してクローズドループ制御を行うことができます。 ヒステリシスやクリープのない高精度な位置決めが可能です。

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ピエゾドライバ

ピエゾドライバ

ピエゾステージに電圧を印加し駆動させるための低ノイズドライバです。 オープンループでの動作や、制御コントローラ内蔵ドライバでは 電流が不足する際の外部電源として使用できます。

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検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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