超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

開口付きステージ

ピエゾステージ

開口付きステージ

移動テーブル中央に開口(透過穴)を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡・分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。

コンパクトから大開口まで

小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。

スムーズで精確なスキャニング

高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。

  • 走査型プローブ顕微鏡
  • 顕微鏡試料テーブル
  • 分光分析機器
  • 半導体、FPD関連装置
  • 露光装置
  • マッピング測定
PK1L
開口付きX軸ステージ

PK1L

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PK1L40-020U-N - - - 6600 5 40×70×10
PK1L60-030U 30 1 ±1 2800 10 60×70×16
PK1L45-100U 100 2 ±2 490 5 45×55×16
PK2H / PK2L
開口付きXY軸ステージ

PK2H

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PK2H100-030U (X,Y)30 (X,Y)1
(X,Y)±1
2500 50 100×100×25
PK2H130-030U (X,Y)30 (X,Y)1 (X,Y)±1 1500 50 130×130×30
PK2H150-050U (X,Y)50 (X,Y)2 (X,Y)±2 1200 50 150×150×30

PK2L

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PK2L60-020U-N -
-
-
1700 10 60×60×10
PK2L100-080U (X,Y)80 (X,Y)2 (X,Y)±2 530 10 100×100×30
PK2L64-100U (X,Y)100 (X,Y)2 (X,Y)±2 300 10 64×64×30
PK2L76F-100U (X,Y)100 (X,Y)2 (X,Y)±2 240 10 76×76×32
PK2L130-100U (X,Y)100 (X,Y)2 (X,Y)±2 580 10 130×130×30
PK2L150-100U (X,Y)100 (X,Y)2 (X,Y)±2 420 10 150×150×30
PK2L150-200U (X,Y)200 (X,Y)5 (X,Y)±5 370 10 150×150×30
PK2L150-300U (X,Y)300 (X,Y)10 (X,Y)±10 240 10 150×150×30
PK2L280-200U (X,Y)200 (X,Y)5 (X,Y)±5 150 20 280×280×28
PKVH / PKVL
開口付きZ軸ステージ

PKVH

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PKVH60-012U 12 1 ±1 2500 10 60×60×36

PKVL

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PKVL64F-100U 100 2 ±2 480 10 64×64×30
PKVL100-100U 100 2 ±2 480 10 100×100×30
PKVL84F-300U 300 10 ±10 210 10 84×84×30
PKVL60-100U 100 2 ±2 380 5 74×60×22
PKVL60-200U 200 5 ±5 350 5 74×60×22
PKMVL160-200U 200 5 ±5 150 10 160×240×24
PK3H / PK3L
開口付きXYZ軸ステージ

PK3H

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PK3H130-030UA (X,Y)30,(Z)20 (X,Y,Z)1 (X,Y,Z)±1 820 10 130×130×30
PK3H150-050UA (X,Y)50,(Z)30 (X,Y)2,(Z)1 (X,Y)±2,(Z)±1 670 10 150×150×30

PK3L

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PK3L150-100UA (X,Y)100,(Z)30 (X,Y)2,(Z)1 (X,Y)±2,(Z)±1 430 10 150×150×30
PK3L150-100U (X,Y,Z)100 (X,Y,Z)2 (X,Y,Z)±2 350 10 150×150×30
PK3L150-200UA (X,Y)200,(Z)100 (X,Y)5,(Z)2 (X,Y)±5,(Z)±2 280 10 150×150×30
PK3L150-300UA (X,Y)300,(Z)100 (X,Y)10,(Z)2 (X,Y)±10,(Z)±2 210 10 150×150×30

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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