超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

回転・チルトステージ

ピエゾステージ

回転・チルトステージ

ピエゾ駆動による回転や角度調整が行えます。 角度変位量はわずかながら、高速振動や角度分解能に優れ、光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに最適です。

弾性ヒンジ機構による回転案内

独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。
摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。

  • レーザ光軸調整
  • 精密平行面合わせ
  • 光学デバイス微小角調整
  • チルト調整
  • キャビティ長調整
PT1C
回転タイプ

PT1C

型番 最大振れ角 分解能 共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PT1C80-050S 50"[秒]≒0.014°≒0.2mrad 0.05"[秒]≒0.24μrad 5550 10 80×90×20
PT1C60-800S 800"[秒]≒0.22°≒3.9mrad 0.05"[秒]≒0.24μrad 640 10 60×60×20
PT1C60-1800S 1800"[秒]≒0.50°≒ 8.7mrad 0.2"[秒]≒1.0μrad 240 10 60×70×30
PT1G
ゴニオタイプ

PT1G

型番 最大振れ角 分解能 共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PT1G100-300S 300"[秒]≒0.08°≒1.5mrad 0.02"[秒]≒0.10μrad 260 20 100×100×30
PT1G100-500S 500"[秒]≒0.14°≒2.4mrad 0.02"[秒]≒0.10μrad 260 20 100×100×30
PT1T / PT3V
チルト(+昇降)タイプ

PT1T / PT3V

型番 最大振れ角、移動量 分解能 共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
傾斜 昇降 傾斜 昇降
PT1T60-500S 500"[秒] ≒0.14°≒2.4mrad - 0.02"[秒]≒0.10μrad - 1800 10 60×60×30
PT3V80F-400S ±400"[秒]≒±0.11°≒±1.9mrad 100μm 0.02"[秒]≒0.10μrad 2nm 270 10 80×80×32
PT3V100-800S ±800"[秒]≒±0.22°≒±3.9mrad 300μm 0.04"[秒]≒0.19μrad 10nm 230 10 100×100×32

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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