超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

超精密加工機用

ピエゾステージ

超精密加工機用

精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク(加工対象物)を高速・高精度に位置制御できます。

防塵防滴の対策

密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切り屑などの浸入も防ぎます。

堅牢な本体

加工時の安定性を確保するため本体材質として鋼材を使用。
ビビリ振動や切削負荷などにより加工精度を損なうことのない堅牢な本体構造となっています。

  • ダイヤモンドバイト送り
  • 微細切削、研削加工
  • 高速工具制御
  • ワーク位置決め
  • 精密金型加工
  • 高荷重物の精密位置決め
PU1
1軸タイプ

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
PU1H70F-012U 12 1 ±1 4300 50
PU1H80F-030U 30 1 ±1 2200 50
PU1H150F-060U 60 2 ±2 650 50
PU1L70F-080U 80 2 ±2 1000 50
PU2
2軸タイプ

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
PU2H70F-030U (X,Y)30 (X,Y)1 (X,Y)±1 1800 50
PU2H90F-030U (X,Y)30 (X,Y)1 (X,Y)±1 890 30

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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