超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

歪みゲージ式汎用タイプ

ピエゾステージ

歪みゲージ式汎用タイプ

内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置決めが行え、優れた高速応答性を備えています。

PS1L
X軸ステージ

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PS1L60-200U-S 200 20 ±20 470 5 60×60×26
PS1L60-400U-S 400 50 ±50 290 5 60×60×26
PS2L
XY軸ステージ

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PS2L80-200U-S (X,Y)200 (X,Y)20 (X,Y)±20 170 5 80×80×25
PS2L90-400U-S (X,Y)400 (X,Y)50 (X,Y)±50 155 5 90×90×25
PSVL
Z軸ステージ

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
耐荷重
[N]
サイズ
[mm]
PSVL60-200U-S 200 20 ±20 390 5 60×60×30
PSVL60-400U-S 400 50 ±50 270 5 60×60×30
対物レンズフォーカス用

型番 ストローク
[μm]
分解能
[nm]
繰り返し精度
[nm]
共振周波数
[Hz]
サイズ
[mm]
PFHW**-200U-S 200 20 ±20 380 60×74×24
PFHW**-400U-S 400 50 ±50 250 60×74×24
PFHC2020-800U-S 800 100 ±100 120 40×114×36
制御コントローラ
型番 接続軸数 フィードバック制御方式 入力インターフェース 電源 外形寸法
[mm]
標準装備 追加オプション
NCS6101S 1軸 PIアナログ アナログ電圧 0~10V シリアル(RS232C)または パラレル(16bit) AC100~120V / AC200~240V 切替式 W87.5×D365×H135.8
NCM6201S 2軸 PIアナログ アナログ電圧 0~10V シリアル(RS232C) AC100~120V / AC200~240V 切替式 W236×D388×H140
NCM6301S 3軸 PIアナログ アナログ電圧 0~10V シリアル(RS232C) AC100~120V / AC200~240V 切替式 W236×D388×H140

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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