超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

簡易型アクチュエータ

ピエゾステージ

簡易型アクチュエータ

圧電素子をアクチュエータとして利用しやすい様に、コンパクトなガイド機構に組み込んだ製品です。タップ穴付きなので固定や取り外しが簡単に行え、弾性ヒンジガイドにより真直性の高い動きが得られます。 変位センサは内蔵しておりません。

  • 実験や研究開発における圧電素子の利用
  • ナノメートル単位の微調動作
  • 固着や滑り(スティックスリップ)の無いスムーズな動作
  • 圧電アクチュエータの機器組み込み
直接駆動機構
  • ストロークを制限し応答性と発生力を重視したタイプです。
  • 高重量物でも安定した動作が行えます。
  • ケーブル長は標準で2m、ケーブル端はリード線(バラ線)です。

ご要望に応じて、ケーブル長変更やコネクタ付けも対応いたします。

型番 ストローク
[μm]
発生力
[N]
共振周波数
[Hz]
PE1H-014U-N 14 900 3500
PE1H-032U-N 32 1000 3100
変位拡大機構
  • 長いストロークを得るため圧電素子の伸長を機械的に拡大する機能を備えたタイプです。
  • 弾性ヒンジガイドにより、摩擦がない滑らかな動作が得られます。
  • ケーブル長は標準で2m、ケーブル端はリード線(バラ線)です。

ご要望に応じて、ケーブル長変更やコネクタ付けも対応いたします。

型番 ストローク
[μm]
発生力
[N]
共振周波数
[Hz]
PE1L-100U-N 100 50 500
PE1L-300U-N 300 60 250

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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