超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

制御コントローラ

ピエゾステージ

制御コントローラ

ピエゾステージを駆動制御するためのコントローラです。 制御回路・ドライバ・変位センサアンプを一体型とし、 ピエゾステージと直接接続してクローズドループ制御を行うことができます。 ヒステリシスやクリープのない高精度な位置決めが可能です。

精密位置決めに必要な機能をすべて搭載

「フィードバック制御基板」、「低ノイズドライバ基板」そして「超高分解能センサアンプ基板」 をコンパクトにまとめてモジュール化しコントローラに搭載しています。

上位からの位置指令方法も複数から選択可能

アナログ電圧(0~+10V)やシリアルIF(RS232C)、パラレルIF(16bit)、USB/LANを用意し、目的や用途によって使い易いインターフェースを選択できます。
※機種によって選択肢が異なります。

コントローラタイプ シリーズ名称 フィードバック制御方式 接続軸数 制御インターフェース 特徴、選定目安
アナログ回路コントローラ NCS6000 P, I 1軸 【標準搭載】
・アナログ電圧(0~+10V)
【オプション】
①シリアル(RS232C)
②パラレル( 16bit)
③機能限定シリアル(RS232C)
  • 軽量コンパクト
  • 安価
  • 制御インターフェースの選択が多い
NCS7000 P, I, D
NCM6000 P, I 1~3軸 【標準搭載】
・アナログ電圧(0~+10V)
【オプション】
①シリアル(RS232C)
  • 多軸を1ケースに収納
  • 空きスロットに軸増設が可能
  • 単軸専用×3台より低コスト
NCM7000 P, I, D
デジタル回路コントローラ NCS8000 P, I, D 1軸のみ 【標準搭載】
・アナログ電圧(0~+10V)
・LAN / USB
・パルス入力
  • PIDゲインをPC経由で調整可能
  • 複数の制御インターフェースを標準で搭載
  • 入出力トリガー信号を備えており同期タイミングなどに対応可

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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