超精密位置決め装置の専門メーカー
ピエゾステージ

ピエゾドライバ

ピエゾステージ

ピエゾドライバ

ピエゾステージに電圧を印加し駆動させるための低ノイズドライバです。 オープンループでの動作や、制御コントローラ内蔵ドライバでは 電流が不足する際の外部電源として使用できます。

2通りの電圧出力方法

  1. ①マニュアル
    フロントパネルの" BIAS ADJUSTMENT" ダイアルを回して手動で0~150Vを出力できます。出力電圧値は表示器※で確認できます。
    ※PH103の表示器はオプション
  2. ②外部制御
    リアパネルのInput端子にアナログ電圧(0~10V)を入力することで、15倍に増幅された0~150Vを出力します。入力電圧の波形や周波数に応じた駆動が行えます。

出力電流により「 標準容量」「中容量」「大容量」 の3タイプから選べます。

型番 種類 接続可能軸数 入力電圧 出力電圧 出力電流 モニタ出力 電源 サイズ
[mm]
平均 ピーク
PH103 標準容量 1軸 0~10V 0~150V 40mA 500mA出力電圧の1/15 AC100~120V / AC200~240V 
(切替式),50/60Hz
W210×D252×H96
PH301 中容量 1A ±5A AC100V ±10%,50/60Hz W260×D314×H139
PH601 大容量 2A ±10A W320×D384×H156

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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