超精密位置決め装置の専門メーカー
精密モータステージ

ピエゾモータステージ

精密モータステージ

ピエゾモータステージ

数mm~数十mmのストロークを20~40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®アクチュエータを採用したステージです。アクチュエータ推力に6Nタイプと20Nタイプがあり、静止時も推力とほぼ同じ保持力を維持し、静止時の安定性, 外乱に対し高い位置精度を保ちます。本体材質としてアルミ製モデルとSUS製モデルを用意しています。

特徴

  • スリムで省スペース
  • 自己発熱が少ない
  • 真空環境対応、非磁性対応
  • リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性
  • 光学系の高精度位置決め
  • レーザーアライメント
  • 精密マッピング測定
  • X線/分析・測定装置
  • 顕微鏡用試料ステージ
  • 位置調整後に静止保持する用途

これらの用途において、主に定点位置決めを要する用途や位置調整後電源を切り静止保持する用途の場合は非常に有効です。

LS1L46 / LS1L60
X軸ステージ
型番 可動範囲
[mm]
分解能
[nm]
最大移動速度
[mm/sec]
耐荷重
[kg]
内蔵光学式リニアスケール タイプ サイズ
[mm]
LS1L46-08B-06 ±4 40 5 1 Type B(ナノコントロール製) 46×46×18
LS1L60-08B-06 ±4 40 5 1 Type B(ナノコントロール製) 60×80×24
LS1L60F-08B-06 ±4 40 5 1 Type B(ナノコントロール製) 60×80×24
LS1L90
X軸ステージ
型番 可動範囲
[mm]
分解能
[nm]
最大移動速度
[mm/sec]
耐荷重
[kg]
内蔵光学式リニアスケール タイプ サイズ
[mm]
LS1L90-16A-06 ±8 20 5 2 Type A(レニショー製) 90×110×26
LS1L90-16A-20 ±8 20 5 2 Type A(レニショー製) 90×110×26
LS1L90F-16A-06 ±8 20 5 2 Type A(レニショー製) 90×110×26
LS1L90F-16A-20 ±8 20 5 2 Type A(レニショー製) 90×110×26
LS1L90-16B-06 ±8 40 5 2 Type B(ナノコントロール製) 90×110×26
LS1L90-16B-20 ±8 40 5 2 Type B(ナノコントロール製) 90×110×26
LS1L90F-16B-06 ±8 40 5 2 Type B(ナノコントロール製) 90×110×26
LS1L90F-16B-20 ±8 40 5 2 Type B(ナノコントロール製) 90×110×26
LS1L120
X軸ステージ
型番 可動範囲
[mm]
分解能
[nm]
最大移動速度
[mm/sec]
耐荷重
[kg]
内蔵光学式リニアスケール タイプ サイズ
[mm]
LS1L120-25A-06 ±12.5 20 5 3 Type A(レニショー製) 120×140×26
LS1L120-25A-20 ±12.5 20 5 3 Type A(レニショー製) 120×140×26
LS1L120F-25A-06 ±12.5 20 5 3 Type A(レニショー製) 120×140×26
LS1L120F-25A-20 ±12.5 20 5 3 Type A(レニショー製) 120×140×26
LS1L120-25B-06 ±12.5 40 5 3 Type B(ナノコントロール製) 120×140×26
LS1L120-25B-20 ±12.5 40 5 3 Type B(ナノコントロール製) 120×140×26
LS1L120F-25B-06 ±12.5 40 5 3 Type B(ナノコントロール製) 120×140×26
LS1L120F-25B-20 ±12.5 40 5 3 Type B(ナノコントロール製) 120×140×26
LS2K180
XY軸ステージ(開口付き)
型番 可動範囲
[mm]
分解能
[nm]
最大移動速度
[mm/sec]
耐荷重
[kg]
内蔵光学式リニアスケール タイプ サイズ
[mm]
LS2K180-16B-06 (X)±8, (Y)±8 (X,Y) 40 5 2 Type B(ナノコントロール製) 180×230×36
ピエゾモータステージ用
制御コントローラ

LSタイプピエゾモータステージを駆動制御するためのコントローラです。
制御回路、ドライバを一体型とし、ピエゾモータステージを接続することによりABZ相出力の光学式リニアエンコーダによるクローズド制御を行うことができます。
2軸用制御コントローラと4軸用制御コントローラをベースに1~4軸制御コントローラを用意しております。
制御は、LANまたはRS485インターフェースを介し、PCより制御コマンドを送ることにより簡単に動作可能です。また、RS232Cインターフェースへの変更も対応します。

特徴
  • 制御基板、ドライバ基板、リニアセンサインタポレータを内蔵し、内部はRS485によるチェーン接続をし、多軸化にも対応可能(リニアセンサにより異なります。)
  • ステージに対応した1~4軸制御コントローラと接続すれば、すぐに高分解能な位置決め制御ができます。
  • 10nm分解能のリニアセンサと1nm以下の駆動分解能のドライバによる駆動制御です。
  • 駆動分解能が1nm以下ですので、標準以外のより高精度なリニアセンサにも対応できます。
  • 内部制御基板の接続がRS485によるチェーン接続ですので、多軸化(最大127軸)にも対応できます。
型番 制御軸数 光学式リニアセンサタイプ 制御インタフェース サイズ
[mm]
LC421A 1 レニショー製 LAN,RS485(標準装備) USB , RS232C(オプション対応) W210×D228×H60( 突起部を含みません)
LC421B 1 ナノコントロール製 LAN,RS485(標準装備) USB , RS232C(オプション対応) W210×D228×H60( 突起部を含みません)
LC422A 2 レニショー製 LAN,RS485(標準装備) USB , RS232C(オプション対応) W210×D228×H60( 突起部を含みません)
LC422B 2 ナノコントロール製 LAN,RS485(標準装備) USB , RS232C(オプション対応) W210×D228×H60( 突起部を含みません)
LC443A 3 レニショー製 LAN,RS485(標準装備) USB , RS232C(オプション対応) W210×D228×H60( 突起部を含みません)
LC443B 3 ナノコントロール製 LAN,RS485(標準装備) USB , RS232C(オプション対応) W210×D228×H60( 突起部を含みません)
LC444A 4 レニショー製 LAN,RS485(標準装備) USB , RS232C(オプション対応) W210×D228×H60( 突起部を含みません)
LC444B 4 ナノコントロール製 LAN,RS485(標準装備) USB , RS232C(オプション対応) W210×D228×H60( 突起部を含みません)

検査・測定から製造装置にいたるまで

様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。

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